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基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列

简要描述:基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列
搭载白光干涉功能 ,纳米/微米/毫米一台即可完成测量
超越激光显微镜的限制,以三重扫描方式应对
•一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米
•一台即可了解希望获取的信息
•纳米级分辨率

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-01
  • 访  问  量:2153
详细介绍
品牌KEYENCE/基恩士仪器种类超高速激光共聚焦显微成像系统
价格区间面议应用领域能源,电子,印刷包装,汽车,综合,材料领域
产地类别进口应用领域能源,电子,印刷包装,汽车,综合,材料领域

基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列


产品外观

VK1.JPG


产品特性

采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,

以及镜面体,透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。


1、Basic Characteristics

观察

从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖

  • 42 至 28800 倍

  • 无需对焦

  • 适用于多种样品

观察.JPG


测量

非接触瞬间扫描形状

  • 不会损伤目标物

  • 纳米级别也可准确测量

  • 透明体和坡度大的目标物也可测量

测量.JPG


分析

希望了解的表面“差异"一目了然

  • 定量化微小形状

  • 轻松比较多个样品

  • 粗糙度分析

分析.JPG


2、三重扫描方式解决“难以测量"的难题

可根据样品工件的材料、形状和测量范围,选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,进行高精度测量。

三重.JPG


3、纳米级分辨率

即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。

此外,如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。

高分辨率.JPG


4、连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量

扫描区域50 mm见方。

凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。

只需一台设备,即可同时掌握整体形状和局部形状。

凹凸.JPG


5、精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

适用于各种目标物的测量能力

全面.JPG


测量案例

Si 晶片背面 │ 3000 倍

表面粗糙度测量

Si晶片表面.JPG


MEMS │ 2 mm × 2 mm

提供:Matthieu Denoual 博士(GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France)与东京大学研究生院三田吉郎研究室

MEMS.JPG


相机卡口部端子 │ 30 mm × 12 mm

端子的形状测量

尺寸.JPG


基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列

除上述应用外,在其他行业也应用广泛。

如果想了解更多信息可留言或电话咨询,我们将竭诚为您服务。





 
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